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刻蝕:
在半導體芯片制程中,刻蝕無疑是整個芯片制程非常關鍵的工藝控制點,干法刻蝕、光阻去除等工藝,通常伴隨著等離子體增強的高溫及化學腐蝕影響,一般材料很難滿足這種苛刻的使用要求,Honseal產(chǎn)品具備優(yōu)異的耐化學特性、耐高溫、低析出、低金屬離子污染等突出性能,被廣泛使用在最先進的半導體芯片制程設備中。
濕制程:
半導體濕制程工藝介質(zhì)種類繁多,應用狀況復雜,同時需要兼顧到成本的考慮弘芯氟醚能提供用于耐廣泛化學介質(zhì)侵蝕要求的各類靜態(tài)、動態(tài)及復合應用的產(chǎn)品,使用在濕法刻蝕、CMP、勻膠顯影等不同工藝中。
薄膜沉積、熱制程:
Honseal產(chǎn)品具有優(yōu)異的耐溫特性,無論是HDPCVD、PECVD、PVD還是在LPCVD、氧化、擴散、RTP等高溫制程工藝中,能夠保持低釋氣率,滿足客戶對于高溫橡膠材料的使用要求。


